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產(chǎn)品中心

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三自由度并聯(lián)運(yùn)動臺
產(chǎn)品簡介

三自由度并聯(lián)運(yùn)動臺：超安靜運(yùn)動 ·納米級分辨率 ·斷電位置自保持 ·并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu) ·內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器 靈活的可定制方案

產(chǎn)品型號：Free3D.ZTxTy.070
更新時間：2026-03-06
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問量：208
詳細(xì)介紹在線留言

三自由度并聯(lián)運(yùn)動臺 — Free3D.ZTxTy.070
產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動

· 納米級分辨率

· 斷電位置自保持

· 并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu)

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 靈活高的可定制方案

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1

可選版本

.HV,高真空版本；
.UHV,超高真空版本；
.NM,*全無磁版本；

2

外形尺寸

?70×82  mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版， .HV,.UHV鋁合金，鋼：800 g;,NM純鈦，陶瓷：460 g

4

*大垂直負(fù)載

5 kg

5

中空孔徑

?10  mm

6

運(yùn)動行程Z,θX,θY*

±2.5  mm,±9°,±10°

7

單向重復(fù)精度Z,θX,θY

±0.2  μm,±8μrad,±8μrad

8

最小步伐Z,θX,θY

10 nm,1 μrad,1μrad

9

傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

10

位置傳感器分辨率

2 nm

11

線纜&接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本： Kapton漆包線， D-Sub15(PEEK)

12

控制器規(guī)格

MC-Free3D

三自由度并聯(lián)運(yùn)動臺 — Free3D.ZTxTy.100

產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動

· 納米級分辨率

· 斷電位置自保持

· 并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu)

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 靈活的可定制方案

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1

可選版本

HV，高真空版本；UHV，超高真空版本；NM，*全無磁版本；

2

外形尺寸

?100 × 78 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版，+HV，+UHV 鋁合金，銅：1010 g；NM 純鈦，陶瓷：580 g

4

*大垂直負(fù)載

500 g

5

中空孔徑

?20 mm

6

運(yùn)動行程 Z, 6X, 6Y*

0–20 mm, ± 30°, ± 30°

7

單向重復(fù)精度 Z, 6X, 6Y*

± 0.2 μm, ± 10 μrad, ± 10 μrad

8

最小步優(yōu) Z, 6X, 6Y*

10 nm, 1 μrad, 1 μrad

9

傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

10

位置傳感器分辨率

2 nm

11

線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜 D-Sub15；UHV 版本：Kapton 涂層線纜，D-Sub15 (PEEK)

12

控制器規(guī)格

MC-Free3D



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